发展让氮化镓薄膜成长于矽基板上的二硼化锆缓

2019-10-07 03:09 来源:未知

气候变迁与永续发展已成为国际关注议题,先进地区皆积极采用绿色产品,以期为经济带来永续发展的新风貌。在这股绿色风潮席卷之下,为协助台湾产业争取国际节能商机,由国家实验研究院仪器科技研究中心光学系统整合研发联盟主导,结合宇杰真空科技公司以及明志科技大学陈胜吉教授产学研三方能量,开发将氮化镓薄膜成长于矽基板之二硼化锆缓冲层制程技术与设备,可降低LED制程成本达30,并延长LED使用寿命25,可有效提升台湾绿能产业国际竞争优势。 LED光源拥有省电、体积小及寿命长等优点,随着照明应用面的扩大,已冲上绿色趋势的浪头。根据研究机构统计,目前台湾LED照明产业已位居地位,然而LED技术日新月异,且竞争者众,韩国与中国大陆更以政策支持,展现强烈的企图心,可预期未来LED照明产业竞争将更为激烈。面对国际强敌环伺,台湾LED产业需持续提升技术竞争力,方能保持优势。 目前LED在照明市场中仍存在高单价、高成本限制,且散热处理一直是需要进一步克服的关键技术。传统LED主要是以氮化镓磊晶成长于蓝宝石晶圆(Sapphire,Al2O3)或碳化矽基板上,仪科中心透过光学系统整合研发联盟,成功媒合明志科大队与宇杰真空,三方合作执行科技部应用于氮化镓薄膜沉积于矽基板之二硼化锆缓冲层薄膜制程技术开发产学合作计划,发展让氮化镓薄膜成长于矽基板上的二硼化锆缓冲层的制程技术。此技术可让氮化镓沉积于半导体业已大量使用的矽晶圆基板上,不但可降低成本,且可提高导热速率,提升散热效率,因此商业应用价值。 本产学研究的运作模式,是由仪科中心以脉冲直流磁控溅镀设备镀制二硼化锆薄膜于矽基板,开发缓冲层;明志科大团队负责薄膜材料结构与晶相分析;宇杰真空为一真空设备系统整合制造及真空元件开发制造之设备公司,负责将研发成果进行商业机台测试与验证,并进行相关设备整合研发,建立台湾真空镀膜设备自主研发能力技术。 根据绿能产业发展趋势,LED产业未来五年将会快速成长,因此积极发展前瞻性产业技术,抢先突破目前产业技术瓶颈为各国目标。仪科中心、明志科大及宇杰真空的合作,除可强化台湾在LED产业的竞争优势,确保地位,并可提升台湾半导体制程设备厂商的技术水准,台湾产业迈向高值化应用发展。

LED照明价格战打不停,如何降低LED晶片生产成本,成为相关晶片业者重要的生存关键。雷射加工设备商大族激光表示,透过导入更先进紫外光蓝宝石基板切割技术,LED晶片业者仍可有效降低LED生产成本。

【高工LED综合报道】 日前,台积电旗下子公司台积固态照明与贺喜、中华电携手抢下内政部推动的国内LED路灯标案,共取下4万盏,并预期将於今年下半年推出无需封装的LED芯片产品,届时台积固态照明也将跨足室内照明市场。

大族激光小功率营销总监温博表示,LED照明灯具近年来价格持续压低,可望快速替代一般传统日光灯或是省电灯泡。

台积固态照明总经理谭昌琳日前指出,台积固态照明今年仍会续扩产,主要是看好LED照明产业将持续增温。

大族激光小功率营销总监温博表示,LED照明灯具近年来价格持续压低,可望快速代替一般传统日光灯或是省电灯泡,有效带动LED照明市场前景;但为了在价格竞争激烈的产业中生存,相关业者须不断提升自身的运作效率。

若以台积固态照明目前营收占比而言,矽基板约占50%、非矽基板则占另外50%。谭昌琳指出,矽基板虽相较於蓝宝石基板,有成本较为低廉的优点,不过矽基板磊晶片因在氮化镓磊晶薄膜与矽基板间的热膨胀系数差异,容易造成磊晶层的破裂,导致良率容易受到影响,惟台积固态照明采矽基板生产的LED良率已经提升至不错水准,且公司又拥有台积电强大的产能、技术後盾,这些都是台积固态照明的优势。

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